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真空鍍膜是一種產生薄膜材料的(de)技(jì)術。在(zài)真(zhēn)空室(shì)內材料的原子從加熱源離析出來打(dǎ)到被鍍物(wù)體的表麵上。
然而,真空鍍膜的先決條件是要確保真(zhēn)空腔室具有良好穩定(dìng)的(de)真(zhēn)空度。目前(qián),真空鍍膜設(shè)備密封形式多采用單根橡膠圈密(mì)封,這種密封形式適用於較小密封麵的密封,對於較大密封麵采用該種密封方式容易出現密封效果不佳的問題。
提供一種安全可靠的真空鍍膜設備,本係統由真空鍍膜係統和(hé)手套(tào)箱係統(tǒng)集成而成,可(kě)在高真空蒸鍍腔室中完成(chéng)薄膜蒸鍍,並在手套箱高純惰性氣(qì)體氛圍下進行樣品的存放、製備以及蒸鍍後樣品的(de)檢測。
蒸發鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封(fēng)裝、測試等工藝(yì)全封閉製作(zuò),使整個薄膜生長(zhǎng)和(hé)器件製(zhì)備過程高度集成在一個完整的可控(kòng)環境氛圍的係統中,消除有機大麵積電路製(zhì)備過程中大氣環境(jìng)中不穩定因素影(yǐng)響,保障了高性能、大麵積有機光電器件和電路的製備。
標簽:真空鍍膜電源