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在OLED顯示(shì)麵板的製造過程中,需要在玻璃基板上進行有機膜層的真(zhēn)空蒸鍍,該工(gōng)作步驟需要在真空蒸(zhēng)鍍機內來完成。
因此,提(tí)供一(yī)種手套箱蒸鍍一體機,本(běn)係統由真空鍍膜係統和真空手套箱(xiāng)係統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,並在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、製備以及(jí)蒸鍍(dù)後樣品的檢測。
真空鍍膜係統優點:蒸發鍍膜(mó)與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測試(shì)等工(gōng)藝全封閉製(zhì)作,使整個薄(báo)膜生長和器件(jiàn)製備過(guò)程高度集成在(zài)一個完(wán)整的可控環境氛圍的係(xì)統中,消除(chú)有機大麵積電路製備過(guò)程(chéng)中大氣環境中不穩定因素影(yǐng)響,保障了高性能、大麵積(jī)有機光電器件和電路的製備。
真(zhēn)空鍍膜係統主要用於太陽(yáng)能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導體製(zhì)備等實驗研究(jiū)與應用。
標簽:真(zhēn)空鍍膜電源
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