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在OLED顯示麵板的製造過程(chéng)中,需要在玻璃基板上進(jìn)行有機膜層(céng)的真空(kōng)蒸(zhēng)鍍,該(gāi)工作步驟需要在真空蒸鍍機內來完成。
因此,提供一種手套箱蒸鍍一體機,本(běn)係統由真空鍍膜係統和真空手套箱係統集成(chéng)而成,可在(zài)高真空蒸鍍腔室中完成薄(báo)膜蒸鍍,並在手套箱高(gāo)純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、製備以及蒸鍍後樣品的(de)檢(jiǎn)測。
真空鍍膜係統優點:蒸(zhēng)發鍍膜與手(shǒu)套箱(xiāng)組合,實現蒸鍍、封裝、測試等(děng)工藝全封閉製作(zuò),使整個薄膜(mó)生長和器件(jiàn)製備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的係統(tǒng)中,消除有機大麵積電路製備過(guò)程中大氣環境中不(bú)穩定因素影響,保障了高性能、大麵積有機光電器(qì)件和電路(lù)的製備。
真空鍍膜係統主要用於太陽(yáng)能電池鈣鈦礦、OLED和(hé)PLED、半導體製備等(děng)實驗研究(jiū)與應用。
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