多功能（néng）鍍膜設備及鍍膜方法

目前（qián），真空磁控濺射（shè）鍍膜機、真空蒸發鍍（dù）膜機、真空多弧離子鍍膜機等，真空磁控濺射鍍膜機可在低溫狀態下進行非金屬材料進行鍍膜，真空蒸發鍍膜機和（hé）真空多弧離子鍍膜機屬於高溫鍍（dù）膜，適（shì）用於金屬材料鍍膜（mó）。

　　每種鍍膜機都有各自特點和使用範（fàn）圍（wéi）限製，如需鍍製多種不同膜層以及進行金屬和非金屬材料的鍍（dù）膜，需要購置上（shàng）述多種真空鍍膜機，存在（zài）設備投資大的缺點。

　　為了解決問題（tí），提供一種多功能（néng）磁控濺射鍍（dù）膜係統。本係統由真（zhēn）空鍍（dù）膜係統（tǒng）和（hé）真（zhēn）空手套箱係統集成而成（chéng），可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸（zhēng）鍍，並（bìng）在手套箱高（gāo）純惰性氣體氛（fēn）圍下進行樣品的存放、製備以及（jí）蒸鍍後樣品的檢測。 多功能磁控濺射鍍膜係統主（zhǔ）要用途：用於製備各種金屬膜、半導體膜、介質膜、磁控膜、光學膜、超導膜、傳感膜以及各種特殊需求的（de）功能薄膜。

　　標簽（qiān）：多弧鍍（dù）膜電源