深圳市深中瑞科技有限公(gōng)司!
真空鍍膜是一種產生薄膜(mó)材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱源離析(xī)出來打到被鍍物體的表麵上。
然而,真空鍍膜的先決條件是要確保真空腔室(shì)具有良好穩定的真空(kōng)度。目前,真空鍍膜設備密封(fēng)形式多采用單根橡膠圈密封,這種密封形式適用於較小密封(fēng)麵(miàn)的密封,對於較大(dà)密封麵采(cǎi)用(yòng)該種(zhǒng)密(mì)封方式容易出現密(mì)封效果不佳的問題。
提供一(yī)種安全(quán)可靠的真空鍍膜設備,本係統由真空(kōng)鍍膜係統和手套箱係統集成而成,可在高真空蒸(zhēng)鍍腔室(shì)中完成薄膜蒸鍍,並在手套箱高純(chún)惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存(cún)放、製備以及蒸鍍後樣品的檢測。
蒸發鍍(dù)膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝(zhuāng)、等工藝全封閉製作,使整個薄膜生長和器件製備過程高度集成在一個完整的可控環境氛(fēn)圍的係統中(zhōng),消除有機大(dà)麵積電路製(zhì)備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了高性能(néng)、大麵積有機光電器件和電路的製備。
標(biāo)簽:真空鍍膜電源