真空鍍膜係（xì）統（tǒng）主（zhǔ）要構成部分你知道幾個？

1、真（zhēn）空（kōng）室

　　塗層設備主要有連續塗（tú）層生產線及單室塗層機兩種形式（shì），不鏽鋼材料製造、氬弧焊接（jiē）、表麵進行化學拋光處理，真空室組件上焊有各種規（guī）格的法蘭接口。

　　2、真空獲得部（bù）分

　　在真空技術中，真空獲得部分是重要組成部分。真空的獲得不是一種真空設備和方（fāng）法所能達到的，必（bì）須將幾種泵聯合使用，如機械泵、羅茨泵、分子泵係統等。

　　3、真空測（cè）量部分

　　真空係統（tǒng）的真空測（cè）量部分，就是要對真空室內的壓強（qiáng）進行（háng）測量。像真空泵一樣，沒有一種真空計能測量（liàng）整個（gè）真空範圍，人們（men）於是按不同的原（yuán）理和要求製（zhì）成了許多種類的真空計。如熱偶計，電離計，皮拉尼計等。

　　4、電源供給部分

　　靶電源主要有直流電源、中頻電源、脈衝電源、射頻電源(RF)，常見的電源廠商有AE,ADL,霍廷格等。

　　5、工藝氣體輸入係統

　　工藝（yì）氣體，如氬氣(Ar)、氪（kè）氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等，一般均由氣瓶供應，經氣體減壓閥、氣體截止閥、管路、氣體流量計、電（diàn）磁閥、壓（yā）電閥，然後通入真空室。這種氣體輸入係統的優點是，管路簡捷、明（míng）快，維修或更換（huàn）氣瓶容易。各塗層機之間（jiān）互不影響（xiǎng）。也有多台塗層機共用一組氣瓶（píng）的情況，這種情況在一些規模較大的塗層車間可能（néng）有機會看到。它的好處是，減（jiǎn）少氣瓶占用量，統（tǒng）一規劃、統一（yī）布（bù）局。缺點是，由於接頭增多，使漏氣機會增加。而且，各塗層機（jī）之間會互相幹擾，一台塗層機的管路漏氣，有可能（néng）會（huì）影（yǐng）響到其他塗層（céng）機的產品質量。此外，更換氣瓶時，必須保證所有機台都處於非用氣狀態。

　　6、機械傳動部分（fèn）

　　塗層要求周邊必須厚度（dù）均勻（yún）一致，因此，在塗層過程中須有三個轉動量才能滿（mǎn）足要（yào）求。即在要求大工件（jiàn）台轉動(I)的同時，小的工件承（chéng）載台（tái）也轉動( II),並且工件本身還能同時自轉(III)。在機（jī）械設（shè）計上，一般是在大工件轉盤底部中央為（wéi）一大的主（zhǔ）動齒輪，周圍是一（yī）些小的星行輪與（yǔ）之齧合，如果要實現產品自轉的（de）話，一般用撥叉撥動工件自（zì）轉。

　　7、加熱及測溫部（bù）分

　　塗層設備一般有不同位置的加熱（rè）器，用熱電偶測控溫度。但是，由於熱電偶裝夾的位置與工件位置不同，溫度讀數不可能是工件的（de）真實溫度。要想測（cè）得工件的真實溫度，有很多方法（fǎ），可以在工件上裝高溫試紙或熱偶計。

　　8、離子蒸（zhēng）發及濺（jiàn）射（shè）源

　　多弧鍍的蒸發源一（yī）般為圓餅形，俗稱圓餅靶，也有長方形的多弧靶。靶座中裝有磁鐵，通（tōng）過前後移動磁（cí）鐵，改變磁場強度，可調整弧（hú）斑移動速度及軌跡。為（wéi）了降低靶及靶座的溫（wēn）度，要給靶座不斷通入冷卻水。為了保證靶與靶座之間的高導電、導熱性，還可以在靶與靶座之間加錫墊（diàn）片。磁控濺射鍍膜一般采（cǎi）用長（zhǎng）方形或圓柱形濺（jiàn）射陰極。

　　9、水冷係統

　　一（yī）般由冷水塔，冰水機，水泵等組成。

　　10、工控係統

　　標簽：多弧鍍膜電源