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真空(kōng)鍍膜設備為了與大氣隔絕,對於真空室的各個部件的(de)連接處(chù)、轉動軸、蓋、大門、觀(guān)察窗、電源、信號引入端等所(suǒ)有地方,都應設計有可(kě)靠的真空密封措施(shī)。
真空密封通常有可拆密封和不可拆密封(又稱永久性密封,包括(kuò)一些封接、焊接等操(cāo)作(zuò))的區別。而可拆密封(fēng)就相對比較複雜一點,包括了靜(jìng)密封與動密封兩大類形式。
一、靜密(mì)封(fēng)
真空鍍膜室的靜密封(fēng)是指連接件無法做相對運動的一種密封手段。如果隻是在低真空和高真空的(de)環境,那可拆靜(jìng)密封的密(mì)封材料通常采用具有很大(dà)彈(dàn)性的橡膠。如(rú)果是超高真空的環境要求,那麽(me)可拆(chāi)靜(jìng)密封將有所限製(如高溫烘烤溫度、材料出氣率等),所以一般用(yòng)軟金屬做鍍膜真空(kōng)室(shì)的密封材料。
常見(jiàn)的可拆靜密封材料有橡膠密封、金屬密封、氟塑料密封等,此外還包括一些真空法蘭、真空規管接頭等零部件。
二、動密封
鍍膜工(gōng)藝可能需要(yào)將外部的物料傳遞到真空室中。對此,真空容器物料傳遞的運(yùn)動形式一般可通過傳動軸的轉動(dòng)、擺動以及往複直(zhí)線運動等設計來實現。
常見的動密封型式是傳遞平(píng)動和轉動的(de)O形圈和填料密封,對於密封要求高的設備好選用兩個(gè)O形圈來實現(xiàn),因為這(zhè)種密封方式(shì)可確保裝(zhuāng)置軸中心準直程度(dù)。
1、傳遞軸轉動(dòng)
這一類的動密封形式應用廣的是(shì)威爾遜密封,其墊圈孔徑一般設(shè)計為軸直徑的0.65倍-0.8倍,再用金屬襯墊固定住墊片邊緣,橡(xiàng)膠(jiāo)墊孔扭曲變形使內緣貼緊軸,達到密封效果。該類型密封可用傳動軸直徑為1.5mm-70mm,但需要注意軸徑一旦超過20mm,在設計其結(jié)構(gòu)時要知道壓力差的存(cún)在,不會把軸壓到真空室裏麵。傳遞軸轉動密封常用(yòng)雙墊(diàn)圈(quān),再於(yú)雙(shuāng)墊圈(quān)間做抽空或注入真空潤滑油脂(zhī)等措施,以達到真空室密封性能的改善(shàn)效果。
2、傳動軸擺動
這一類(lèi)動密(mì)封形式主要靠膜片的變形或金(jīn)屬波紋管來實現傳遞軸的轉動或平(píng)移、擺(bǎi)動(dòng)。該類型密封形式有密封可靠、耐高溫烘烤(因為材料多是耐高溫的(de) 膜(mó)片或金屬波紋管)等優勢,但是又(yòu)有價格高、壽命短、位移(yí)量小等缺陷。現在主要在超高真空設備中使(shǐ)用。
3、往複直線運(yùn)動
這(zhè)一類動密封裝置中的O形圈,不(bú)管是以外徑(jìng)還是內徑作滑動(dòng)密封,裝置壓縮(suō)率通常都(dōu)取10%~12%之間。因為是在拉(lā)伸後安裝O形圈,所(suǒ)以斷麵直徑縮小,導致實際壓(yā)縮(suō)量也對應縮小,實(shí)際壓縮率在拉(lā)伸後一般不會低於8%。
標簽:真空鍍膜電源