真空鍍膜設備的製作方法

真空鍍膜有三種形（xíng）式，即蒸發鍍（dù）膜、濺射（shè）鍍膜和離子鍍:蒸發鍍膜，通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表麵；濺射鍍膜用高能粒（lì）子（zǐ）轟擊固體表麵時能使固體（tǐ）表麵的粒子獲得能量並逸出表麵，沉積在基片上；離子鍍（dù）蒸發物質（zhì）的分子被電子碰撞（zhuàng）電離後以離子沉積在固體表麵。這三種形式的真空鍍膜技術都需要一種快速冷卻裝置來輔助（zhù）真空鍍膜工程。
　　真空設備由於在鍍膜過（guò）程中工件處於密閉的（de）真空環境中，但產品工藝及性能（néng）卻喪失了很多，現有的真（zhēn）空鍍膜（mó）設備，也有冷卻裝置，但其冷卻效果不是很理想。不能滿足人們（men）的需要（yào），為彌補現有技術不足，提供真空鍍膜設備手套箱蒸鍍一（yī）體機（jī），本係統由真空鍍膜係統和手套箱係統集成而成，可（kě）在（zài）高真空蒸鍍腔室中完成薄膜（mó）蒸鍍，並在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、製備（bèi）以及蒸鍍後樣品的檢測。能保證鍍膜（mó）產品工藝及性能質量（liàng）的要（yào）求而設置（zhì）的快速（sù）冷卻係統（tǒng），實現自動（dòng）控製快速冷卻（què）的目的。
　　蒸發鍍膜與（yǔ）手套箱組合，實現蒸鍍、封裝、等工藝全封閉製作，使整個（gè）薄膜生長和器件製備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的（de）係統中，消除有機大麵積電路製備過程（chéng）中大氣環境中不穩定因素影響，保障了高性能、大麵積有機（jī）光電器件和電路的製（zhì）備。
　　標簽（qiān）：真空鍍膜電源