真空鍍膜電源的維護和保養介紹（shào）

真空鍍（dù）膜設備，主要指一類需要在較高真空度（dù）下進行的鍍膜，具體（tǐ）包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射（shè），MBE分子（zǐ）束外延，PLD激光濺射沉積等很多種（zhǒng）。

　　1、真空鍍膜電源每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法是：用燒堿（NaOH）飽和溶（róng）液反複擦洗真空室內壁（bì），（ 注意人（rén）體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液（yè），以免（miǎn）灼傷）目的是使鍍上（shàng）去的膜料鋁（AL）與NaOH發生反應，反應後膜層脫落，並釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的汙垢。

　　2、當粗（cū）抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續（xù）工作一個月（雨季減半（bàn）），需（xū）更換新（xīn）油。方法是：擰開（kāi）放油螺栓，放掉（diào）舊油，再將泵啟（qǐ）動數（shù）秒，使（shǐ）泵內（nèi）的舊油完全排放（fàng）出來（lái）。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續使（shǐ）用半年以上（shàng），換油時應將油蓋打（dǎ）開，用布擦幹淨箱內汙垢（gòu）。

　　3、擴散泵連續（xù）使用（yòng）6個月（yuè）以上，抽速明（míng）顯（xiǎn）變慢，或（huò）操作失當（dāng），充入大氣，拆（chāi）去聯結水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰（nǐng）出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍（biàn），再用洗衣粉（fěn）兌水清洗一遍，然後用清水徹底（dǐ）清洗幹淨，待水份（fèn）揮發幹以後，裝好泵膽，加入新擴散泵油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可（kě）以重新開機（jī）。在重新開機（jī）前，要注意檢漏工作（zuò）。方法是：啟動維持泵，關好大門，數分鍾後，觀察擴散泵部分（fèn）真空度是（shì）否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈，或（huò）壓壞密封圈。排除漏氣隱患後（hòu）方可加熱，否則擴散泵（bèng）油會燒環無法進入工作狀態。

標簽：真空鍍膜電源