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偏壓電源(yuán)是真空電(diàn)弧離子鍍及其(qí)它真(zhēn)空物理氣相沉積設備中一個重要組件,在鍍(dù)膜工藝(yì)流程中為工件提供負(或正)偏壓。它在真空離(lí)子鍍膜(mó)中,尤其對(duì)於多弧(hú)離子(zǐ)鍍膜,無論是裝飾鍍還是工具鍍,轟偏電源的好(hǎo)壞對於成膜質量都起著非常關鍵的作用。可以有效的提高真空等離(lí)子體內帶電粒子的能量(liàng),轟擊(jī)清洗所鍍工件表麵,使工件表麵經受高能粒子撞擊後(hòu)得(dé)到嶄新的表層,從而提高後(hòu)續沉積膜層的(de)結合力,可以提高並(bìng)控製真(zhēn)空等離子體內帶電粒子的能量,提高膜層與工件基體結(jié)合力,而且它可以(yǐ)靠不同的電壓(yā)輸出極性或方式改變沉積規則,調(diào)整(zhěng)膜層顏色,做到克服偏壓電源工作(zuò)於(yú)真空等離子體環境中,由高電壓引起的(de)陰極弧光放電燒傷工件的作用。
標簽:脈衝偏壓電源