關於偏壓電源（yuán）的主要特點以及作用分析（xī）

偏壓電（diàn）源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一個（gè）重（chóng）要組件，在鍍膜工藝流（liú）程中為工件提供負（fù）（或正）偏壓。在（zài）真空離子鍍膜中，尤其對於多弧離子鍍膜，無論是裝（zhuāng）飾鍍還是工（gōng）具鍍，轟偏電源的好壞對於成膜質量都起著非常關鍵的作用。裝飾鍍和工具（jù）鍍對膜層質量的要求有相同之處又各（gè）有側重。

脈衝偏壓（yā）電源（yuán）：　　偏壓電源（yuán）工（gōng）作於二級高頻變換模式，單極（jí）脈衝方式輸出。電源的電壓調整通過改變高頻變換電路的電（diàn）源電壓來實現，調壓（yā）電路具有1%的穩率。高頻變換電路產（chǎn）生10-90%脈衝電壓。由（yóu）於電源的輸出電壓與脈衝寬度獨立調整，在滿足工藝所需電（diàn）壓同時（shí），通過改變脈衝寬度（dù）來控工件溫升。電源適用於各類工具鍍膜及裝飾鍍膜 。

　　作用：

　　1）提高真空等離子體（tǐ）內帶電粒（lì）子的能量，轟擊清洗所鍍工件（jiàn）表麵，使工件表麵經（jīng）受（shòu）高能粒子撞擊後得到嶄新的表層，從（cóng）而提高後續沉（chén）積膜層的結合力。

　　2）提高並控製真空等（děng）離（lí）子體內帶電粒子的能（néng）量，提高膜（mó）層與工件基體結合力。

　　3）靠不同的電（diàn）壓輸出極性或方式改（gǎi）變沉積規則，調整膜（mó）層（céng）顏色。

　　4）克服偏壓電源工作於真空等離子體環境中，由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件

標簽：脈衝偏壓電源