關於脈衝偏壓電源的作用講解

偏（piān）壓電（diàn）源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一個重要（yào）組件，在鍍膜工藝流程中為（wéi）工件提供負（或正）偏壓。

脈衝偏壓（yā）電源：

　　1）提高真空等離子體內帶電粒子的能（néng）量，轟擊清洗所鍍工件表麵，使工件表（biǎo）麵（miàn）經（jīng）受高能粒（lì）子撞擊（jī）後得到（dào）嶄新的表層，從而提高後續沉積膜層（céng）的結（jié）合力

　　2）提高並（bìng）控（kòng）製真空等離子體內帶電粒子的能量，提高膜層與（yǔ）工件基體結合（hé）力

　　3）靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規則，調整膜層顏色

　　4）克（kè）服偏壓電源工作於真空（kōng）等離子體（tǐ）環境中，由（yóu）高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工（gōng）件

標簽：脈衝偏壓電源