多功能鍍膜設備及鍍膜方法

      目前，真空磁控濺（jiàn）射鍍膜機、真空蒸發鍍膜機（jī）、真空多弧離子鍍膜機等，真空磁控濺（jiàn）射鍍膜（mó）機可在（zài）低溫狀態下進行非金屬材料進行（háng）鍍（dù）膜，真空蒸發（fā）鍍膜機和真空多弧離子（zǐ）鍍膜機屬於高溫鍍膜，適（shì）用於金屬材料鍍膜（mó）。

　　每種鍍膜機都有各自特點和使用範圍限製，如需鍍製多種（zhǒng）不（bú）同膜層以及（jí）進行金屬（shǔ）和（hé）非金（jīn）屬材料的鍍膜，需要購置上述多種真空鍍（dù）膜機，存在設備投資大的缺點。

　　為（wéi）了解決問題，提供一（yī）種多功能磁（cí）控濺射鍍膜係統。本係統由真空（kōng）鍍膜係統和真空手套箱（xiāng）係（xì）統集成而成，可在高真空蒸鍍腔（qiāng）室（shì）中（zhōng）完成薄（báo）膜蒸鍍（dù），並在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣（yàng）品的存放、製備以及蒸鍍後樣品的（de）檢測。 多功能磁（cí）控濺射鍍膜係統主要用途：用於製備各（gè）種金屬膜、半導體膜、介質膜、磁控膜、光學膜、超（chāo）導膜、傳感膜以及各種特（tè）殊需求的功能（néng）薄膜。

　　標簽：多弧（hú）鍍膜電源