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真空鍍膜是一種(zhǒng)產生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱源離析出來(lái)打到被鍍物體的表麵上。
然而,真空鍍膜的先決條件是要確保真空(kōng)腔室具有良好穩定的真空度(dù)。目前,真空鍍膜設備密封形式多采用單(dān)根橡膠圈密封,這種密封形式適用(yòng)於較小密封麵的密封,對於較大密封麵采用該種密(mì)封方式容易出現密封效果(guǒ)不佳(jiā)的問題。
提供一種安(ān)全可靠的真空鍍膜設備,本係統由真空鍍(dù)膜係統和手套箱係統集成而(ér)成,可在高真空蒸(zhēng)鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,並在手套箱(xiāng)高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、製備以及蒸鍍後樣品的檢測。
蒸發鍍膜與手套(tào)箱組合,實現蒸鍍、封裝、等工藝全封閉製作,使整個薄膜生長和器件(jiàn)製備過程高度集成在一個完整的可(kě)控環境氛圍的係(xì)統中,消除有機大麵積(jī)電路製(zhì)備過程(chéng)中大氣環境中不(bú)穩定(dìng)因素(sù)影響,保障了高性能、大(dà)麵積有機光電器件和電路的製備。
標簽:真空鍍膜(mó)電源
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