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真空鍍膜是一(yī)種產(chǎn)生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱(rè)源離析出來打到被鍍(dù)物體的表麵上。
然而(ér),真空鍍(dù)膜的先決條件是要確保真空腔(qiāng)室具有良好穩定的真空(kōng)度。目前,真空鍍膜設備密封形式多(duō)采用(yòng)單根橡膠(jiāo)圈密封,這種(zhǒng)密(mì)封形(xíng)式適用於較小密封麵的密封,對於較大密封麵采用(yòng)該種(zhǒng)密封方式容易出(chū)現密封效果不佳的(de)問題。
提供一種安全可靠(kào)的真空鍍膜(mó)設備,本係統由真空鍍膜(mó)係統和手套箱係統集(jí)成而成,可在高(gāo)真空蒸鍍腔室(shì)中完成薄膜蒸鍍,並在手套箱(xiāng)高純惰性氣(qì)體氛圍下進行樣品的存放、製備以(yǐ)及蒸鍍(dù)後樣品的檢測。
蒸發鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、等工藝全封閉製作,使整個薄膜生長(zhǎng)和器件製備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的(de)係統中,消(xiāo)除有機大麵積電路製備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了高性能、大麵積有(yǒu)機光電器件和(hé)電路(lù)的製備。
標(biāo)簽;真空鍍膜電源