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真空(kōng)鍍膜是一種產生薄膜材料的技術。在真空室(shì)內材料的原子從加(jiā)熱源離析出來打(dǎ)到被鍍物體的表麵上。
然而,真空鍍膜的先決條件是要確保真空腔室具有良好穩定的真空度。目前,真空鍍膜設備密封形式多采(cǎi)用單根橡膠圈密封,這種密封形(xíng)式適用於較小密封麵的密封,對於較大密封麵采用該種密封方式容易出現密封效果不佳的問題(tí)。
提供(gòng)一種安全可靠的真空鍍膜設(shè)備,本係統由真空鍍膜係統和手套箱係統集成而成,可在高真空蒸鍍腔(qiāng)室中完成(chéng)薄膜蒸鍍,並在手套箱高純(chún)惰性(xìng)氣體(tǐ)氛圍下進(jìn)行樣品的(de)存放(fàng)、製備以及蒸鍍後樣品的檢測。
蒸(zhēng)發鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、等工藝全封閉製作,使整個薄(báo)膜生長和器件製備過(guò)程高度集成在一個完整的可(kě)控環境氛圍的係統中,消除有機大(dà)麵積電路製備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了高性能、大麵(miàn)積有機光電器件和電路的製備。
標簽:真空鍍膜電源(yuán)
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