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真空鍍膜是一種產生薄膜材料(liào)的技術。在真空室內材料的原子從(cóng)加熱源離析出來打(dǎ)到被鍍物體的表麵上。
然而(ér),真空鍍膜的先決條件是要確保真空腔室(shì)具有良好(hǎo)穩定(dìng)的真空度。目(mù)前,真空鍍膜設備密封形式多采用(yòng)單根橡膠圈密封,這種密封形式適用於較小密封麵的密封,對於較大密封麵采用該種密封方式(shì)容易出現密封效果不佳(jiā)的問(wèn)題。
提供一種安全可靠的真空鍍膜設備,本係統由真空(kōng)鍍膜係統和手套箱係統集(jí)成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜(mó)蒸鍍,並在手套箱高純惰性氣體氛圍(wéi)下進行樣品(pǐn)的(de)存放、製備以及蒸鍍後樣品的檢測。
蒸發鍍膜與手套箱組合(hé),實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉(bì)製作(zuò),使整個薄膜(mó)生長和器件製備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的係統中,消除有機大麵積(jī)電路製備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了高性能、大麵積有機光(guāng)電器(qì)件和電路的製(zhì)備。
標簽(qiān):真空鍍膜電源
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