安（ān）全可靠（kào）的真空鍍膜設備

真空鍍膜是一（yī）種產生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到（dào）被鍍物體的表麵上。

　　然而，真空鍍（dù）膜的先決條件是要確（què）保真空腔室具有（yǒu）良好（hǎo）穩定（dìng）的真空度。目（mù）前，真（zhēn）空（kōng）鍍（dù）膜設備密封形式多采用單根（gēn）橡膠圈密（mì）封，這種密封形式適用（yòng）於較小密封麵的（de）密封，對於較大密封麵（miàn）采用該種密封方式容易出現密封效果（guǒ）不佳的問題。

　　提供一種安全可靠的真（zhēn）空鍍膜（mó）設備，本（běn）係（xì）統由真空鍍膜係統和手套箱係統集（jí）成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，並在手套箱高純惰性（xìng）氣體氛圍下進行樣品的存放、製備以及（jí）蒸鍍後樣品的檢測。

　　蒸發鍍膜與手套箱（xiāng）組合，實現蒸（zhēng）鍍、封裝、測試等工藝全封閉製作，使整個薄膜生長和器件製（zhì）備過程高度集成在一個完整（zhěng）的可控環境氛圍的係統中，消除有機大麵積電路（lù）製備過程中大氣環境中不穩定因素影響（xiǎng），保障了高性能、大麵積有機光電器（qì）件和電路的製備（bèi）。

　　標（biāo）簽：真空鍍膜電源