脈衝偏壓電源的作用講解

偏壓電源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相（xiàng）沉積設備中一個重要組件，在鍍膜工藝流程中為工件提供負（或正）偏壓。

脈衝偏（piān）壓（yā）電源：

　　1）提高真空等（děng）離子體內帶電粒子的能（néng）量，轟擊清洗所鍍工件表麵，使工件表麵經受高能粒子撞擊後得到嶄新的表層，從而提高後續沉積膜層的結合力

　　2）提高（gāo）並控製真空等離子體內帶電粒子的能量，提高膜層與工件基體（tǐ）結合力

　　3）靠（kào）不同的電壓輸出極（jí）性或方式改變沉（chén）積規則，調整膜層顏色

　　4）克服偏壓電源工作於真空等離子體環境中，由高電壓引起的陰極弧光放（fàng）電燒傷（shāng）工件

標簽：脈衝偏（piān）壓電源